വർക്ക്പീസ് വാക്വമിൽ ചൂടാക്കുന്നതാണ് വാക്വം കാർബറൈസിംഗ്.അത് നിർണായക പോയിന്റിന് മുകളിലുള്ള താപനിലയിൽ എത്തുമ്പോൾ, അത് കുറച്ച് സമയം നിലനിൽക്കുകയും, വാതകം നീക്കം ചെയ്യുകയും ഓക്സൈഡ് ഫിലിം നീക്കം ചെയ്യുകയും, തുടർന്ന് കാർബറൈസിംഗും ഡിഫ്യൂഷനുമായി ശുദ്ധീകരിച്ച കാർബറൈസിംഗ് വാതകത്തിൽ കടന്നുപോകുകയും ചെയ്യും.വാക്വം കാർബറൈസിംഗിന്റെ കാർബറൈസിംഗ് താപനില ഉയർന്നതാണ്, 1030 ℃ വരെ, കാർബറൈസിംഗ് വേഗത വേഗത്തിലാണ്.കാർബറൈസ്ഡ് ഭാഗങ്ങളുടെ ഉപരിതല പ്രവർത്തനം ഡീഗ്യാസിംഗും ഡയോക്സിഡൈസിംഗും വഴി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.തുടർന്നുള്ള വ്യാപന വേഗത വളരെ കൂടുതലാണ്.ആവശ്യമായ ഉപരിതല സാന്ദ്രതയും ആഴവും എത്തുന്നതുവരെ കാർബറൈസിംഗും വ്യാപനവും ആവർത്തിച്ച് മാറിമാറി നടത്തുന്നു.
വാക്വം കാർബറൈസിംഗ് ആഴവും ഉപരിതല സാന്ദ്രതയും നിയന്ത്രിക്കാനാകും;ലോഹ ഭാഗങ്ങളുടെ ഉപരിതല പാളിയുടെ മെറ്റലർജിക്കൽ ഗുണങ്ങളെ മാറ്റാൻ ഇതിന് കഴിയും, കൂടാതെ അതിന്റെ ഫലപ്രദമായ കാർബറൈസിംഗ് ആഴം മറ്റ് രീതികളുടെ യഥാർത്ഥ കാർബറൈസിംഗ് ആഴത്തേക്കാൾ ആഴമുള്ളതാണ്.